1、機械研磨法
傳統的機械研磨方法一般在直徑為30 ～ 40cm 的鑄鐵研磨盤上涂上一層混有尺寸為 1 ～ 50 Λ m 的金剛石粉末研磨膏進行預研，使金剛石粉末嵌入鑄鐵研磨盤微孔，然后采用50r/min典型轉速對金剛石刀具進行研磨，其本質就是金剛石與金剛石的對研。
傳統的機械研磨方法由于磨盤轉速高，正壓力大，研磨時的摩擦力大，故研磨效率高。但由于這種研磨方法具有不連續的沖擊作用，得到的金剛石刀具鋸齒度和變質層厚度較大，表面粗糙度值也較大，一般為0.05 ～ 1μm 。
據國外文獻報道，當金剛石刀具切削刃鈍圓半徑達到納米級時，可采用金剛石刀具和研磨盤間距為幾十納米的零載荷空轉，這種情況下也可以去除刀具材料。
所以從理論上講，機械拋光法可以使表面粗糙度值達到幾個納米。
2、離子束濺蝕法
離子束濺蝕法是采用高能氬離子轟擊金剛石刀具表面的碳原子，使刀具碳原子逐個排除的微細加工方法，適用于加工微小金剛石刀具，所得到的金剛石刀具表面粗糙度值為幾個納米。
3、熱化學拋光法
熱化學拋光法一般是在流動氫氣中的碳原子與周圍的氫氣反應生成甲烷并隨氣流排出。
熱化學拋光效率取決于碳原子的擴散速率，影響因素有溫度、正壓力、磨盤轉速等。該方法可使金剛石刀具表面粗糙度值(Ra)達到幾個納米，表面變質層較淺。
4、無損傷機械化學拋光法
此方法在NaOH溶液中加入適量的微細金剛石粉末和更加細的硅粉，通過強靜電作用使硅粉吸附在金剛石粉末之上 ，然后把它們涂覆在多孔制鑄鐵研磨盤上對金剛石刀具進行研磨，其實質是微細硅粉和金剛石刀具表面碳原子發生化學反應，通過硅微粉的微磨削作用把反應層刮掉。該方法的磨削效率極低 , 約每分鐘一個原子層。
5、氧化刻蝕法
該方法采用高純度氧氣或含氧水蒸氣，使金剛石表面碳原子在高溫作用下(純氧1100℃，含氧水蒸氣600～900℃) 發生氧化反應形成碳氧化物，并隨氧氣流或水蒸氣流一起排出。用此方法加工后的金剛石表面粗糙度值(Ra) 可達幾個納米。
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